電子化學
四甲基氫氧化銨
(TMAH)
CAS Number：75-59-2
分子式: C4H13NO
同義字
四甲基氢氧化铵, 25% IN WATER；四甲基氢氧化铵,AR,25%水溶液；四甲基氢氧化铵(约25%在水溶液中)；四甲基氢氧化铵, 25% W/W 水溶液, 99.5% (METALS BASIS)；TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE PENTAHYDRATE 四甲基氢氧化铵 (25%水溶液)；四甲基氢氧化铵溶液；四甲基氢氧化铵，溶液；四甲基氫氧胺 (顯影液)
產品用途
- 半導體領域：有機材料蝕刻中TMAH作為正膠顯影劑，有機材料蝕刻主要是指光刻膠在經過顯影和圖形轉移後的去膠；TMAH是一種具有優良的腐蝕性能的各向異性腐蝕劑，選擇性好，無毒且不污染環境。
最重要的是TMAH與互補金屬氧化物半導(CMOS)工藝相兼容，符合SOC(嵌入式系統微處理器)的發展趨勢。
TMAH正逐漸替代KOH和其他腐蝕液，成為實現微電子機械繫統(MEMS)工藝中微三維結構的主要腐蝕劑。 - 四甲基氫氧化銨(Tetramethyl ammonium hydroxide,TMAH)又稱為氫氧化四甲銨、四甲基氫氧化胺，無色至淡黃色液體，是最強的有機鹼，極易吸潮，有一定的氨氣味，在空氣中能迅速吸收二氧化碳，在室溫下其蒸汽壓較低，在135~145℃完全分解氣化，高純品在140℃低溫處理也無微量殘渣。
- 四甲基氫氧化銨溶液無色透明有微氨臭，1（wt）％溶液PH值為12.9，是與苛性鹼同等強度的強鹼。將四甲基氫氧化銨水溶液在減壓下濃縮可得到5個結晶水的吸濕性針狀結晶，再繼續濃縮脫水變成3個結晶水的結晶，再變成1個結晶水的四甲基氫氧化銨，在135～140°C分解為三甲胺和二甲基醚，通常制10%、25%的水溶液。
- 有機矽方面，作為二甲基矽油，苯甲基矽油，有機矽擴散泵油，無溶劑有矽模塑料，有機矽樹脂矽橡膠等的催化劑。
- 分析方面，作為極譜試劑，在產品提純方面作為無灰鹼用以沉澱許多金屬元素，在有機矽片生產中常用作計算機矽片面用光亮劑、清洗劑和触刻劑等。
- 有機矽聚合中的催化劑。
- 優點：它具有強鹼性，在不超過分解點的溫度下穩定。超過分解點時迅速分解為三甲胺和甲醇。當催化完畢後很容易除掉，不留任何殘渣。對有機矽產品無污染。
- 又稱為“暫時催化劑”。在分析中可用於極譜試及用來沉澱不含灰份的許多元素的氫化物。
包材規格
20kg;200kg;1000kg;20噸槽車