臺灣中華化學工業(股)公司 

液晶顯面板生產用顯影劑 TMAH系列

說明:

CAS Number:75-59-2

同義詞:

四甲基氢氧化铵, 25% IN WATER;四甲基氢氧化铵,AR,25%水溶液;四甲基氢氧化铵(约25%在水溶液中);四甲基氢氧化铵, 25% W/W 水溶液, 99.5% (METALS BASIS);TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE PENTAHYDRATE 四甲基氢氧化铵 (25%水溶液);四甲基氢氧化铵溶液;四甲基氢氧化铵,溶液;四甲基氫氧胺 (顯影液)


產品用途:

半導體領域:有機材料蝕刻中TMAH作為正膠顯影劑,有機材料蝕刻主要是指光刻膠在經過顯影和圖形轉移後的去膠;TMAH是一種具有優良的腐蝕性能的各向異性腐蝕劑,選擇性好,無毒且不污染環境。最重要的是TMAH與互補金屬氧化物半導(CMOS)工藝相兼容,符合SOC(嵌入式系統微處理器)的發展趨勢。TMAH正逐漸替代KOH和其他腐蝕液,成為實現微電子機械繫統(MEMS)工藝中微三維結構的主要腐蝕劑。 

用於製造集成電路、平面、顯示器、印製電路板、電容器、感測器以及眾多其他電子元件。 

四甲基氫氧化銨(Tetramethyl ammonium hydroxide,TMAH)又稱為氫氧化四甲銨、四甲基氫氧化胺,無色至淡黃色液體,是最強的有機鹼,極易吸潮,有一定的氨氣味,在空氣中能迅速吸收二氧化碳,在室溫下其蒸汽壓較低,在135~145℃完全分解氣化,高純品在140℃低溫處理也無微量殘渣。

四甲基氫氧化銨溶液無色透明有微氨臭,1(wt)%溶液PH值為12.9,是與苛性鹼同等強度的強鹼。將四甲基氫氧化銨水溶液在減壓下濃縮可得到5個結晶水的吸濕性針狀結晶,再繼續濃縮脫水變成3個結晶水的結晶,再變成1個結晶水的四甲基氫氧化銨,在135~140°C分解為三甲胺和二甲基醚,通常制10%、25%的水溶液。

有機矽方面,作為二甲基矽油,苯甲基矽油,有機矽擴散泵油,無溶劑有矽模塑料,有機矽樹脂矽橡膠等的催化劑。

分析方面,作為極譜試劑,在產品提純方面作為無灰鹼用以沉澱許多金屬元素,在有機矽片生產中常用作計算機矽片面用光亮劑、清洗劑和触刻劑等。

有機矽聚合中的催化劑。

優點:它具有強鹼性,在不超過分解點的溫度下穩定。超過分解點時迅速分解為三甲胺和甲醇。當催化完畢後很容易除掉,不留任何殘渣。對有機矽產品無污染。

又稱為“暫時催化劑”。在分析中可用於極譜試及用來沉澱不含灰份的許多元素的氫化物。


包材規格:

20噸槽車


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